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                                我司将在第17届中国国际工业博览会上推出4.5代高分辨率投影光刻机

                                       我司将在第17届中国国际工业博览会上重点推出面向平板显示屏领域的SSB245/10型高分辨率投影光刻机。这是我国自主研发的首台4.5代TFT投影光刻机,专用于AM-OLED显示屏TFT电路制造,具有良好的稳定性和可维护性,设备分辨率高达2μm。设备采用UNIX操作系统,具有良好的人机交互界面,支持符合SEMI标准的生产线自动化接口及设备之间的工艺数据同步。

                                       更多产品信息,请至我司展位(国家会展中心4.2馆D165展位)垂询。上海微电子装备有限公司期待您的光临!

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