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                                我司产品喜获“2012年度上海市专利新产品”称号

                                    近日,我司SSB500/20型先进封装步进投影光刻机被上海市经济信息化委员会、上海市财政局、上海市知识产权局评为“2012年度上海市专利新产品”。

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