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                            1. 必赢国际官网
                                长短寸测量设备 —— 长寸测量兼容短寸和光刻胶膜厚测量


                                SOM255/10

                                SOM245/10

                                SOM200系列长短寸测量设备配合光刻机,用于长寸测量兼容短寸和光刻胶膜厚测量。
                                   产品特征

                                ● 多功能测量,长寸测量同时兼容CD/Overlay测量及光刻胶膜厚测量

                                ● 高测量精度,CD测量重复性30nm,TP测量重复性280nm,满足高分辨率光刻的测量需求

                                ● 高测量效率,采用桥式结构,更稳定更高速

                                ● 高效的温度控制系统

                                ● 快速灵活的客制化服务

                                   主要技术参数

                                 型号

                                SOM245/10 

                                 SOM255/10

                                 CD测量重复性

                                 30nm@3Sigma

                                 30nm@3Sigma

                                CD测量复现性

                                50nm@3Sigma 

                                 50nm@3Sigma

                                 TP测量重复性

                                 280nm@3Sigma

                                300nm@3Sigma

                                 TP测量复现性

                                400nm@3Sigma 

                                450nm@3Sigma