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                                300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices制造


                                SSB300

                                SSB320

                                SSB380

                                SSB300/30投影光刻机适用于2-6英寸基底LED的PSS和电极光刻工艺,该设备具有高分辨率、高线宽均匀性等特点;SSB320/10投影光刻机专用于LED生产中芯片(Chip)制作光刻工艺,采用超大曝光视场,通过掩模优化设计减少曝光场,减少重复芯片损失,显著提高产能。
                                   产品特征

                                ● 高分辨率,分辨率可达0.8μm

                                ● 高速在线MAPPING技术

                                ● 高精度拼接

                                ● 多尺寸基底自适应切换

                                ● 高产能

                                ● 高精度套刻

                                ● 完美匹配ALIGNER

                                   主要技术参数
                                 型号  SSB300  SSB320  SSB380
                                 分辨率  0.8μm 2μm  1μm
                                 曝光光源  i-line mercury lamp  i-line mercury lamp i-line mercury lamp
                                 基底尺寸  2~6 inches  2~6 inches  2~6 inches
                                 工艺应用  支持LED PAD/PSS工艺 支持LED PAD工艺 支持LED PAD工艺

                                 可选配置

                                 背面对准和可变狭缝(Variable Slit)

                                 背面对准和可变狭缝(Variable Slit)

                                 背面对准和可变狭缝(Variable Slit)